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氮化硅是由硅元素和氮元素構成的化合物。在氮氣氣氛下，將單質硅的粉末加熱到1300-1400°C之間，硅粉末樣品的重量隨著硅單質與氮氣的反應遞增。在沒有鐵催化劑的情況下，約7個小時后硅粉樣品的重量不再增加，此時反應完成生成Si3N4。除了Si3N4外，還有其他幾種硅的氮化物（根據氮化程度和硅的氧化態所確定的相對應化學式）也已被文獻所報道。比如氣態的一氮化二硅（Si2N）、一氮化硅（SiN）和三氮化二硅（Si2N3)。這些化合物的高溫合成方法取決于不同的反應條件（比如反應時間、溫度、起始原料包括反應物和反應容器的材料）以及純化的方法。[2]

Si3N4是硅的氮化物中化學性質最為穩定的（僅能被稀的HF和熱的H2SO4分解），也是所有硅的氮化物中熱力學最穩定的。所以一般提及“氮化硅”時，其所指的就是Si3N4。它也是硅的氮化物中最重要的化合物商品。

在很寬的溫度范圍內氮化硅都是一種具有一定的熱導率、低熱膨脹系數、彈性模量較高的高強度硬陶瓷。不同于一般的陶瓷，它的斷裂韌性高。這些性質結合起來使它具有優秀的耐熱沖擊性能，能夠在高溫下承受高結構載荷并具備優異的耐磨損性能。常用于需要高耐用性和高溫環境下的用途，諸如氣輪機、汽車引擎零件、軸承和金屬切割加工零件。